三氯氢硅是一种无机化合物 ， 化学方程式为SiHCl3 。
制取
【三氯氢硅是一种无机化合物,化学式为SiHCl3 三氯氢硅属于什么物】经干躁的硅粉在钛酸异丙酯沸腾炉中与干躁氯化氢气体在340°C下开展反映，转化成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去精馏设备分离出来四氯化硅，再经冷疑，得制成品 。利用硅铁和HCl的反映还可以获得物质 。
主要用途
作为有机硅材料化学物质的原料，也是生产制造多晶硅的基本上原料 。
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